La planéité des surfaces d'étanchéité est ce qui maintient votre vide sans fuite Ces pièces de chambre à semi-conducteurs usinées CNC constituent les parois porteuses et les anneaux de distribution de
Ces pièces de chambre à semi-conducteurs usinées CNC constituent les parois porteuses et les anneaux de distribution de gaz pour les outils de gravure, de dépôt et d'implantation ionique. Nous usinons les faces d'étanchéité critiques avec une planéité de 0,005 mm et maintenons une finition de surface de Ra 0,4 µm sur les gorges de joints toriques. Cela signifie que votre chambre maintient un vide de 10⁻⁶ Torr sans points de pincement d'élastomère. BQUQ a 20 ans de production CNC à Dongguan, vous obtenez donc cette précision avec un délai de 10 jours—pas les 6 semaines typiques des ateliers américains ou allemands.
Pour les composants exposés au plasma, nous recommandons l'aluminium 6061-T6. Sa conductivité thermique (167 W/m·K) évacue la chaleur de la zone de réaction 10 fois plus rapidement que l'acier inoxydable 316L. Nous détensionnons chaque plaque avant l'usinage pour éliminer les contraintes internes. Après usinage, nous appliquons une anodisation dure équivalente à 60 HRC en surface—cela empêche les arcs électriques et le détachement de particules. Pour les stations d'extrémité d'implantation ionique, nous utilisons du 304L ou 316L avec un électropolissage de 32 Ra pour réduire le dégazage en dessous de 1×10⁻⁹ Torr·L/s·cm².
Vos pièces de chambre nécessitent souvent des ports d'entrée de gaz à des angles de 15°, 30° ou 45°. Nous utilisons des fraiseuses 5 axes DMG MORI qui usinent ces trous inclinés en un seul montage. Cela élimine l'erreur cumulative due au re-positionnement. La précision de positionnement typique sur l'espacement entre ports est de ±0,01 mm. Nous usinons également des filetages internes selon la classe d'ajustement 2A—critique pour les trous de cartouches chauffantes et les puits de thermocouples qui doivent rester étanches sous cycles thermiques.
Chaque lot de matière première est accompagné d'un certificat de laminoir EN 10204 3.1. Nous vérifions la composition chimique et la dureté avant de couper. Pour les pièces en aluminium, nous utilisons la trempe T6 (190 HB). Pour l'acier inoxydable, nous utilisons l'état recuit de mise en solution, puis, si vous l'exigez, nous effectuons un dégazage sous vide final à 400°C pour éliminer la fragilisation par l'hydrogène. Nous enregistrons la lecture de dureté sur la fiche d'inspection de chaque pièce—vous obtenez le chiffre réel, pas une valeur « typique ».
Nous inspectons 100 % des caractéristiques critiques, pas seulement un échantillon. Une MMT Zeiss vérifie tous les alésages, les configurations de boulons et les surfaces d'étanchéité par rapport à votre modèle 3D. Pour les pièces qui doivent maintenir le vide, nous effectuons un test d'étanchéité à l'hélium jusqu'à 1×10⁻⁹ mbar·L/s. Nous photographions également la pièce à côté d'une échelle calibrée pour vos dossiers. Vous recevez un rapport d'inspection complet avec chaque expédition—sans frais supplémentaires.
La finition standard est de Ra 0,8 µm sur les zones non étanches et de Ra 0,4 µm sur les faces d'étanchéité. Pour les produits chimiques corrosifs comme Cl₂ ou HBr, nous appliquons une anodisation dure de 25 µm (Type III) qui résiste aux attaques. Pour les pièces en acier inoxydable, nous proposons un électropolissage qui élimine la couche écrouie et laisse une surface passive en oxyde de chrome. Nous n'utilisons pas de sablage abrasif—il incruste des particules de média qui provoquent des défauts sur les plaquettes.
Nous emballons les pièces dans des sacs doubles antistatiques (ESD) et les plaçons dans des caisses en bois avec mousse de protection. La caisse extérieure est marquée « Fragile—Vacuum Grade » et contient un sachet déshydratant. Nous gérons toute la paperasse d'exportation, y compris le certificat de fumigation et la facture commerciale. L'expédition via DHL ou FedEx porte-à-porte prend 3 à 5 jours vers les États-Unis, l'UE ou le Japon. Pour les réparations urgentes, nous pouvons expédier par fret aérien une pièce unique sous 48 heures.
| Spécification | Valeur / Plage |
|---|---|
| Matériaux | Aluminium 6061-T6, 7075-T6, Acier inoxydable 304L/316L, Titane Grade 5 |
| Taille maximale de pièce | 1200 mm x 800 mm x 400 mm |
| Plage d'épaisseur | 2 mm à 200 mm |
| Dureté (Aluminium) | T6 : 95 HB ; Anodisé dur : 60 HRC équiv. |
| Dureté (Acier inoxydable) | Recuit de mise en solution : 200 HB max |
| Tolérance d'usinage | ±0,005 mm (linéaire), ±0,01 mm (positionnel) |
| Finition de surface Ra | 0,4 µm (étanchéité), 0,8 µm (standard), 0,2 µm (optique) |
| Faux-rond (concentricité) | ≤0,005 mm sur alésage à alésage |
| Délai de livraison | 10 jours standard, 5 jours accéléré |
| MOQ | Sans MOQ — 1 pièce ou 1000 pièces |
| Inspection | MMT 100 %, test d'étanchéité à l'hélium en option |
Nous avons besoin de votre fichier 3D STEP ou IGES. Le dessin 2D ne capture pas les indications de profil de surface sur les ports incurvés complexes. Envoyez-nous le modèle solide et nous vérifierons l'épaisseur des parois, l'accès des outils et les rayons internes. Si nous détectons un problème de fabrication, nous vous le signalerons sous 4 heures—pas après que vous ayez payé l'outillage.
Nous stockons vos programmes CNC, montages et routines d'inspection sur notre serveur pendant 10 ans. Lorsque vous commandez à nouveau, nous récupérons le programme, relançons la première pièce et expédions sous 7 jours. Vous ne payez pas de frais de nouveau montage pour les commandes récurrentes. Pour les contrats annuels, nous pouvons maintenir un stock de sécurité de votre matière première critique—indiquez-nous simplement vos prévisions.
Quantité minimale de commande nulle. Nous usinons un prototype ou 1000 pièces de production au même prix unitaire.
Oui, nous nous approvisionnons auprès de laminoirs certifiés en Chine, à Taïwan et au Japon ; envoyez-nous votre spécification ASTM ou DIN et nous confirmerons la disponibilité sous 24 heures.
Nous utilisons la même inspection MMT et les mêmes certificats de matériaux pour une pièce unique que pour un lot de 1000—aucun raccourci.
Nous pouvons usiner une simple plaque en aluminium sous 48 heures et l'expédier par fret aérien ; les chambres complexes à ports multiples prennent 5 à 7 jours.
Prêt à faire fabriquer vos pièces de chambre avec une vraie précision ? Envoyez votre modèle 3D et la quantité à sc@bquq.com. Nous vous retournerons un devis ferme sous 12 heures, incluant le coût des matériaux, le temps d'usinage et les options d'expédition. Pour les questions urgentes, contactez-nous sur WhatsApp au +86 13713157787. Sans MOQ, sans frais de conception, sans frais d'outillage cachés—juste des pièces de chambre à semi-conducteurs usinées CNC qui répondent à votre guide des tolérances d'usinage CNC et durent des milliers de cycles de processus. Notre fabrication de précision en Chine est soutenue par 20 ans d'expérience à l'export. Nous vous aidons également à choisir les bons outils pour votre alliage spécifique—consultez notre guide de sélection des outils de coupe CNC pour plus de détails. Envoyez votre dessin dès aujourd'hui.
| Paramètre | Capacité |
|---|---|
| Matériaux | AL6061/7075, SUS303/304/316, acier 45#, cuivre T2, laiton H59, POM, PEEK, nylon |
| Tolérance | ±0.005mm standard, ±0.003mm sur demande |
| Machines | CNC 3/4/5 axes, tour-fraisage, tour suisse |
| Surface | Anodisation, nickel, zinc, passivation, sablage, polissage |
| Gamme de tailles | Max 400 x 300 x 200 mm |
| Prototype | 72 heures, pas de MOQ sur les échantillons |
| Inspection | Rapport complet par lot, données CMM sur demande |
