Ces pièces de chambre à semi-conducteurs usinées CNC sont des enceintes étanches sous vide et résistantes au plasma qui abritent les étapes de traitement des plaquettes. Nous maintenons l'épaisseur de
Ces pièces de chambre à semi-conducteurs usinées CNC sont des enceintes étanches sous vide et résistantes au plasma qui abritent les étapes de traitement des plaquettes. Nous maintenons l'épaisseur des parois à ±0,005 mm, obtenons un faux-rond de 0,005 mm sur toutes les faces d'accouplement et expédions les premiers articles en 5 jours — pas 15. Chaque pièce est fraisée à partir de billette d'aluminium ou d'acier inoxydable certifiée sur des machines 3 axes et 5 axes, puis anodisée dure jusqu'à une dureté de surface équivalente de 60 HRC pour une résistance à l'érosion dans les environnements agressifs de gravure et de dépôt.
La rainure d'étanchéité est le cœur de toute chambre — une fuite ici détruit le processus. Nous coupons ces rainures avec un outillage dédié à un seul point, et non des fraises à bout standard. Nos programmes CNC utilisent le fraisage en avalant à 12 000 tr/min avec un pas de 0,02 mm, produisant une surface qui comprime les joints toriques uniformément. Nous vérifions chaque rainure avec une jauge à air calibrée, pas seulement un profilomètre. Résultat : des taux de fuite d'hélium inférieurs à 1×10⁻⁹ mbar·L/s sur chaque chambre que nous expédions.
Nous commençons avec de l'aluminium 6061-T6 pour la plupart des chambres car il équilibre la conductivité thermique (167 W/m·K) et l'usinabilité. Pour le plasma à base de fluor, nous passons à l'acier inoxydable 316L ou à l'Inconel 625 — ces alliages résistent à l'attaque des halogènes qui dissout l'aluminium standard. Après le fraisage, nous appliquons une anodisation dure (Type III) à 50–60 HRC, ou un nickelage chimique à 48–52 HRC sur l'acier inoxydable. La trempe T6 est vérifiée par test de conductivité sur chaque billette entrante.
Nous ne nous fions pas aux contrôles par sondage. Chaque pièce de chambre reçoit une inspection MMT complète avec une sonde de résolution 0,001 mm — 40 à 120 points mesurés selon la géométrie. Les rainures d'étanchéité sont mesurées avec la même jauge à air utilisée lors de l'assemblage final. La finition de surface est vérifiée avec un profilomètre laser, pas un comparateur manuel. Toutes les données sont stockées dans un rapport PDF avec votre numéro de bon de commande, envoyé avant l'expédition de la pièce.
Les parois de chambre ont des orifices inclinés, des trous d'admission de gaz et des canaux de refroidissement qu'une machine 3 axes ne peut atteindre sans plusieurs montages. Chaque montage ajoute un risque de faux-rond. Nos machines DMG MORI 5 axes coupent ces caractéristiques en un seul serrage, maintenant une tolérance de position de ±0,01 mm sur toute la pièce. Pour votre dessin, si un angle d'orifice est de 30° ou 45°, nous l'usinons en une seule passe — sans opération secondaire d'électroérosion ou de perçage.
Le délai standard est de 5 à 7 jours pour un prototype unique de chambre, 15 jours pour un lot de 50. Nous n'imposons pas de quantité minimale de commande — commandez une pièce pour la qualification, puis passez à 500. C'est de la fabrication de précision en Chine avec une particularité : nous gardons nos propres lignes d'usinage, donc nous contrôlons le calendrier. Pas de courtier, pas d'intermédiaire, pas d'attente pour un créneau libre chez un sous-traitant.
Les intérieurs de chambre exposés au plasma nécessitent Ra 0,4 µm pour réduire le détachement de particules — nous y parvenons avec une fraise à bout carbure 4 dents à un engagement radial de 0,01 mm, puis une passe diamant de 2 µm. Pour les canaux de refroidissement où la rugosité aide le transfert de chaleur, nous laissons Ra 1,6 µm. Le tableau ci-dessous montre nos options standard ; indiquez-nous votre spécification, et nous l'atteignons sans coût supplémentaire, sauf si la géométrie exige un outillage personnalisé.
| Paramètre | Plage standard | Notes |
|---|---|---|
| Matériaux | 6061-T6 Al, 316L SS, Inconel 625 | Certifiés avec traçabilité de la fonderie |
| Taille maximale de pièce | 800 mm × 600 mm × 400 mm | Plus grand sur demande |
| Dureté (Al après anodisation) | 50–60 HRC | Anodisation Type III, épaisseur 25–50 µm |
| Dureté (SS après nickelage) | 48–52 HRC | Nickel chimique, 20–30 µm |
| Tolérance (usinée) | ±0,005 mm | Sur les surfaces d'étanchéité critiques |
| Tolérance (générale) | ±0,02 mm | ISO 2768-fine |
| Finition de surface | Ra 0,4 µm à Ra 1,6 µm | Mesurée par profilomètre laser |
| Faux-rond (caractéristiques concentriques) | 0,005 mm TIR | Vérifié sur MMT |
| Délai (prototype) | 5 jours | À partir de l'approbation du dessin |
| Délai (lot de 50) | 15 jours | Sans MOQ — commandez 1 ou 500 |
Votre chambre peut utiliser une bride CF, ISO-K ou un système de serrage propriétaire. Nous usinons tout cela à partir de billette brute — pas de soudure, pas de brasage. La face de bride est rodée à une planéité de 0,002 mm, et les trous de boulons sont percés à une position vraie de ±0,05 mm. Si votre dessin spécifie un orifice qui n'est pas dans notre bibliothèque d'outillage standard, nous le programmons directement. Notre logiciel de FAO gère l'interpolation hélicoïdale pour les filetages, donc vous n'avez pas besoin d'inserts séparés.
Sans MOQ — nous usinons une seule pièce de chambre prototype pour la qualification, puis nous passons à n'importe quel volume dont vous avez besoin.
Oui, nos machines 5 axes coupent n'importe quel angle de 0° à 90° avec une précision de position de ±0,01 mm, et nous perçons des canaux de refroidissement jusqu'à 300 mm de profondeur avec un diamètre minimum de 3 mm.
Chaque pièce reçoit une inspection MMT complète avec une résolution de 0,001 mm, les rainures d'étanchéité sont contrôlées à la jauge à air, et la finition de surface est mesurée au laser — toutes les données vous sont envoyées sous forme de rapport PDF.
Nous expédions un lot de 20 en 10 jours à partir de l'approbation du dessin, et nous confirmons le calendrier par e-mail dans les 12 heures suivant la réception de votre demande de devis.
La plupart des usines à Dongguan sous-traitent le travail des chambres à un second atelier. Pas nous. Nos 20 machines CNC fonctionnent 24h/24 et 7j/7, et notre équipe de contrôle qualité est sur le même étage que les opérateurs. C'est pourquoi nous pouvons garantir un faux-rond de 0,005 mm — l'opérateur apporte la pièce à la MMT, pas à travers la ville. C'est aussi pourquoi nous tenons les prototypes en 5 jours : pas de file d'attente chez un fournisseur externe. C'est de la fabrication de précision en Chine, mais avec le contrôle d'une opération sur site unique.
Pour éviter les pièges courants, lisez notre guide de sélection des outils de coupe CNC — il explique comment la géométrie de l'outil affecte la finition de surface de votre chambre. Pour des spécifications plus strictes, consultez notre guide des tolérances d'usinage CNC pour voir ce qui est réalisable en production, pas seulement sur une pièce de démonstration. Et si vous évaluez les coûts énergétiques, nos notes sur la fabrication de précision durable montrent comment nous réduisons la consommation d'énergie par pièce de 18 %.
Envoyez votre dessin pour ces pièces de chambre à semi-conducteurs usinées CNC et obtenez un devis ferme dans les 12 heures. E-mail sc@bquq.com ou WhatsApp +86 13713157787. Nous répondons avec le prix, le délai et une revue DFM — gratuit, sans engagement.
| Paramètre | Capacité |
|---|---|
| Matériaux | AL6061/7075, SUS303/304/316, acier 45#, cuivre T2, laiton H59, POM, PEEK, nylon |
| Tolérance | ±0.005mm standard, ±0.003mm sur demande |
| Machines | CNC 3/4/5 axes, tour-fraisage, tour suisse |
| Surface | Anodisation, nickel, zinc, passivation, sablage, polissage |
| Gamme de tailles | Max 400 x 300 x 200 mm |
| Prototype | 72 heures, pas de MOQ sur les échantillons |
| Inspection | Rapport complet par lot, données CMM sur demande |
